檢索結果：共6筆資料 檢索策略： "柯文政".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="薄膜"
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本研究中所使用的金屬硫化物陶金靶材是由本實驗室熱壓機自行壓製而成，利用RF磁控濺鍍法在低沉積溫度下能夠成功地製備出具高電催化特性之Ag/MoSx薄膜。實驗中，探討靶材中不同Ag含量比例，不同硫化物與…
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本論文以本實驗室自行壓製陶金(陶瓷+金屬)靶材，採用RF反應式濺鍍法製備N摻雜的IGZO薄膜，以N取代O的位置，期望提高IGZO薄膜內的氮含量來提升載子遷移率及提升電性穩定性。實驗中，觀察在不同氧氣…
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近年來隨著工業發展，電力短缺的狀況下，能源的開發成為全球首要的目標之一，其中又以儲能裝置最受到矚目，目前主要的儲能裝置為鋰電池、超級電容、燃料電池等，但鋰電池以及燃料電池有造價昂貴，原料難以取得，放…
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本研究成功的以RF反應式濺鍍法來製備p型Zn摻雜GaN以及Zn摻雜InGaN薄膜。實驗所需要的濺鍍靶材是將不同比例的金屬In、Ga、Zn與GaN陶瓷粉末進行混合後熱壓而成的陶金靶，製備出p型Zn摻雜…
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本研究使用電沉積技術成功製備出具高電催化特性的雙功能NiFe-LDH/Ni(OH)2雙層薄膜，並在實驗中，探討不同的層狀雙氫氧化物的電催化性能，以及不同的電沉積參數對薄膜的電化學特性與表面特徵之影響…
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本論文以含氮化物粉體的方式將N摻雜在IGZO前驅粉體中，並利用本實驗的真空熱壓機壓製而成N摻雜IGZO (IGZNO)靶材，經濺鍍獲得以N原子取代O原子的位置獲得N摻雜IGZO薄膜，期望藉由…